Википедия
Октафторциклобутан
Октафторциклобутан (перфторциклобутан, фреон C318, хладон C318) CF — бесцветный, нетоксичный газ. Применяется как хладагент в холодильных системах или как рабочий газ при плазмохимическом травлении кварца.